四川半导体刻蚀器件企业启动IPO，中微比亚迪TCL参投

产品已落地国内外半导体刻蚀设备市场。

作者 | ZeR0

编辑 | 漠影

芯东西6月5日报道，四川半导体刻蚀器件制造商超纯应用材料已在四川证监局办理辅导备案登记，正式启动A股上市进程，辅导机构为华泰联合证券。

超纯应用材料成立于2005年8月25日，注册资本为7500万元，法定代表人是柴杰。柴杰控制公司49.11%的表决权，是公司的控股股东、实际控制人；柴杰之兄柴林直接持有公司20.99%股份，为柴杰的一致行动人。

企业信息查询平台企查查显示，超纯应用材料经历四轮融资，投资方包括国内半导体刻蚀设备龙头中微公司、新能源汽车龙头比亚迪、家电巨头TCL集团子公司TCL创投。

超纯应用材料已获得国家专精特新“小巨人”企业、国家高新技术企业、四川省企业技术中心等多项资质荣誉，产品包括半导体刻蚀器件、高功率激光器件、特种陶瓷等。

该公司从2009年开始开拓半导体材料市场。成都人才网显示，超纯应用材料总部位于成都双流航空港开发区，二厂位于彭山经济开发区，总面积超过33000平米，产品在国内外半导体刻蚀设备市场具有重要和广泛的应用，长期服务于中芯国际、华虹、长江存储、比亚迪、台积电、三星、北方华创、中微公司等国际知名企业。

根据官网介绍，超纯应用材料从最核心的刻蚀、成膜、扩散和外延设备所涉及的核心零部件产品入手，生产的产品技术涉及到第二代和第三代半导体必须要用到的电感耦合等离子体刻蚀设备耐刻蚀膜层技术，电容耦合等离子体刻蚀设备耐刻蚀膜层技术，气相沉积碳化硅CVD-SiC材料技术、真空沉积理论、热场分析、精密加工，精密检测及精密机械结构设计等多个复杂的交叉领域，积累了大量的设计和制造经验。

超纯应用材料具有自主知识产权，开发了多类工艺，包括先进表面处理工艺（可为半导体刻蚀器件和MOCVD器件提供专业的表面处理服务）、提纯工艺（可将材料的纯度提纯到5N以上）、先进陶瓷生产工艺（制造高密度碳化物和氮化物陶瓷）等，同时公司针对不同基底材料开发了一整套超光滑表面处理工艺来控制表面疵病，提高器件的使用寿命。

在半导体领域，超纯应用材料结合独特的工艺，制造出的半导体配件具有坚固耐用、耐高温、耐腐蚀性气体特点，有助于延长半导体使用寿命和低的颗粒污染从而提高半导体生产良品率。

在精密光学领域，超纯应用材料提供从基材选择、精密抛光、高质量镀膜以及最高检测标准的全套解决方案；结合抛光和涂层工艺方面的优势，产品包括高反射镜、窗口、分光镜、柱面镜、球面镜、金属铝镜、碳化硅反射镜等。

在材料领域，该公司专业制造高品质阴极材料、陶瓷制品、半导体材料及镀膜材料。