捷豹水润滑无油螺杆机为半导体制造注入纯净动能

半导体制造的“超净”竞赛

在芯片制程迈向3纳米、2纳米的今天，一粒微尘、一个分子级的污染物都足以摧毁价值千金的晶圆。半导体制造的“超净”竞赛，正从空气开始——而这场竞赛的关键装备之一，无油空压机。

近日，某全球领先的半导体制造企业产能扩大，新增加多条厂线。经过前期了解，在众多品牌中选择捷豹水润滑无油螺杆机。捷豹工程师团队针对客户的产线特殊性，制定了一项独一无二的无油压缩机空气动力系统解决方案。

为什么半导体制造容不下“一粒油”？

良率杀手： 传统微油空压机的润滑油蒸汽或微滴一旦混入压缩空气，随气体进入光刻机、刻蚀机等核心设备，将直接污染光罩、晶圆表面，导致缺陷，良品率骤降。

维护噩梦： 油污会堵塞精密气动阀门、污染传感器，大幅增加设备宕机风险和维护复杂度，产线停摆代价惊人。

认证壁垒： ISO 8573-1 Class 0 无油认证已成为高端半导体厂的准入门槛，有油压缩空气系统根本无法达标。

捷豹水润滑无油螺杆机
为芯片制造扫清“油”患

捷豹水润滑无油螺杆机具有以下优势：

隔绝油污染： 创新性采用纯水作为润滑和密封介质，压缩腔体内100%无油，从源头确保压缩空气达到Class 0无油标准。

水润滑轴承：以水做润滑剂的半永久寿命水悬浮式轴承，运行过程完全无油，完全无接触；不锈钢材质保证强度和耐用性，杜绝锈蚀可能，寿命更长，无需维护。

等温压缩：水的高比热容确保压缩过程接近理想等温压缩，超低温升带来超高能效，排气量更大，能耗更低。

选择源于对纯净的极致追求

“在引入捷豹水润滑无油空压机系统后，我们关键制程区域的压缩空气质量稳定达到Class 0标准。这不仅显著降低了因气体污染导致的晶圆返工率，其卓越的稳定性和低维护特性，也为我们节省了大量运营成本。它是我们追求卓越制造不可或缺的伙伴。” —— 该半导体企业设备管理负责人。

技术赋能，驱动未来

在半导体这条“精度即生命”的赛道上，每一立方纯净的空气都承载着创新的重量。捷豹的水润滑无油空压机，以颠覆性的技术路径，为芯片制造的精密殿堂筑起坚实的空气净化屏障。

捷豹水润滑无油螺杆机ZW系列

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